以下列举真空镀膜机常见故障及维修方法：
一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
2、坩埚被打穿（更换坩埚）
3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否正常）
8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）
9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
二、长期的镀膜机抽真空的时间很长且达不到真空、恢复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）
2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）
7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）
8、高低预阀是否密封可靠（注油）
